便攜式四探針電阻率測(cè)試儀 型號(hào):CN61M251813 | |
概述 便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。 它主要由電器測(cè)量部份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測(cè)試架。 為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不超過(guò)±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。 測(cè)量范圍: 可測(cè)量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。 可測(cè)方塊電阻:0.1~1999Ω/口 當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。 (2)恒流源: 輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔 10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào) 10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào) 恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1% 適合測(cè)量各種厚度的硅片 (3) 直流數(shù)字電壓表 測(cè)量范圍:0~199.9mv 靈敏度:100μv 度:0.2%(±2個(gè)字) (4) 供電電源: AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W (5) 使用環(huán)境: 相對(duì)濕度≤80% (6) 重量、體積 重量:2.2 公斤 體積:寬210×高100×深240(mm) (7)KD探針頭 壓痕直徑:30/50μm 間距:1.00mm 探針合力:8±1N 針材:TC |
1.方塊電阻范圍:10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-6×106cm
3.測(cè)試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 最高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.專用測(cè)試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購(gòu):電腦和打印機(jī)供應(yīng)高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)
采用由四探針雙電測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置專用的高溫測(cè)試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的測(cè)量要求,通過(guò)先進(jìn)的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
供應(yīng)高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)
三、功能介紹:液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。
測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
供應(yīng)高溫四探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)
一、概述:
采用由四探針雙電測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置專用的高溫測(cè)試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的測(cè)量要求,通過(guò)先進(jìn)的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
二、適用行業(yè):
廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
三、功能介紹:液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。
測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
四、技術(shù)參數(shù)資料
1.方塊電阻范圍:10-4~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-5×106cm
3.測(cè)試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 最高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.專用測(cè)試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購(gòu):電腦和打印機(jī)
便攜式四探針電阻率測(cè)試儀 便攜式四探針電阻率檢測(cè)儀
型號(hào):DL04-KDY-1A
概述
便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。
它主要由電器測(cè)量部份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測(cè)試架。
為減小體積,本儀器用同塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不超過(guò)±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)級(jí)機(jī)的水平。
測(cè)量范圍:
可測(cè)量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可測(cè)方塊電阻:0.1~1999Ω/口
當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔
10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測(cè)量各種厚度的硅片
(3) 直流數(shù)字電壓表
測(cè)量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字)
(4) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用環(huán)境:
相對(duì)濕度≤80%
(6) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)
(7)KD探針頭
壓痕直徑:30/50μm
間距:1.00mm
探針合力:8±1N
針材:TC
四探針電阻率測(cè)試儀 方塊電阻測(cè)定儀
型號(hào):SN/KDY-1
北京SN/KDY-1四探針電阻率測(cè)試儀工作原理是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn)。
整套儀器有如下特點(diǎn):
1、 北京SN/KDY-1四探針電阻率測(cè)試儀工作原理配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更精確。 數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ 0—9.999mV 靈敏度:1μV 輸入阻抗:10ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、 北京SN/KDY-1四探針電阻率測(cè)試儀工作原理可測(cè)電阻率范圍:0.001—6000Ω•cm。
3、 設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4、 流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬(wàn)分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10萬(wàn)次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。
6、 可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值,計(jì)算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、 四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高(國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02授予專利權(quán),專利號(hào):ZL03274755.1)。
KDY-1型四探針電阻率測(cè)試儀是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造,并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改進(jìn)。
整套儀器有如下特點(diǎn):
1、 配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更精確。 數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ 0—9.999mV 靈敏度:1μV 輸入阻抗:10ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、 可測(cè)電阻率范圍:0.001—6000Ω•cm。
3、 設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4、 流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬(wàn)分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10萬(wàn)次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。
6、 可加配HQ-710E微處理機(jī)及打印機(jī),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值,計(jì)算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、 四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高(國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02授予專利權(quán),專利號(hào):ZL03274755.1)。
采用由四探針雙電測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置用的高溫測(cè)試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對(duì)電阻值變化的測(cè)量要求,通過(guò)先進(jìn)的測(cè)控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
應(yīng)用域
高溫四探針電阻率測(cè)試儀廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
產(chǎn)品特點(diǎn)高溫四探針電阻率測(cè)試儀液晶顯示,無(wú)需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;
主要優(yōu)點(diǎn)采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。
測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).工作原理
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測(cè)量,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析,自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,它與單電測(cè)直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
參數(shù)規(guī)格高溫四探針電阻率測(cè)試儀
1.方塊電阻范圍:10-4~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-5×106cm
3.測(cè)試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.用測(cè)試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購(gòu):電腦和打印機(jī)
測(cè)試參數(shù):電壓, 電阻率, 方阻, 電阻
四探針電阻率測(cè)試儀,可測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴(kuò)散層的薄層電阻,適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能材料測(cè)試的要求,也可對(duì)分立電阻進(jìn)行測(cè)量。
測(cè)試參數(shù):電壓, 電阻率, 方阻, 電阻
四探針電阻率測(cè)試儀,可測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴(kuò)散層的薄層電阻,適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能材料測(cè)試的要求,也可對(duì)分立電阻進(jìn)行測(cè)量。
專用四端探針測(cè)試線!