laser mbe具備pld和傳統(tǒng)mbe的特點(diǎn),對(duì)薄膜的生長(zhǎng)速率進(jìn)行(原子層級(jí)別)控制。設(shè)備特點(diǎn)是在mbe系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝,系統(tǒng)可以生長(zhǎng)包括高熔點(diǎn)陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。svt有20年的mbe設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn),我們擅于通過(guò)在線監(jiān)控薄膜生長(zhǎng)來(lái)提高薄膜質(zhì)量。所采用的在線監(jiān)控儀器包括:溫度測(cè)量?jī)x、厚度測(cè)量?jī)x、rheed、束流監(jiān)控儀等。如果您想了解更多這方面的信息
更新時(shí)間:2025-06-23