fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng),為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體域的晶圓、薄膜及光罩檢測(cè),也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測(cè)。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(chǎng)(fov)掃描區(qū)域,支持上下表面檢測(cè)。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測(cè)。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制,或直接集成至產(chǎn)線
更新時(shí)間:2025-07-01